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标题
Formation mechanism of surface quality in 4H-SiC wafers sliced via picosecond laser with gradient Energy-Modulation Multi-Pass modification process
梯度能量调制多道次皮秒激光切片4H-SiC晶片表面质量形成机理
相关领域
薄脆饼 材料科学 调制（音乐） 光电子学 表面改性 激光器 过程（计算） 机制（生物学） 皮秒 能量（信号处理） 纳米技术 光学 计算机科学 机械工程 工程类 声学 物理 量子力学 操作系统
网址
https://doi.org/10.1016/j.optlastec.2025.113776
DOI
10.1016/j.optlastec.2025.113776 doi
其它 期刊：Optics & Laser Technology
作者：Yixiong Yan; Yuxuan Cheng; Sijia Chen; Yi‐Fei Deng; Xuening Li; et al
出版日期：2025-08-22
求助人
Solar energy 在 2025-08-24 17:55:51 发布自新加坡，悬赏 10 积分
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