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Formation mechanism of surface quality in 4H-SiC wafers sliced via picosecond laser with gradient Energy-Modulation Multi-Pass modification process

薄脆饼 材料科学 调制（音乐） 光电子学 表面改性 激光器 过程（计算） 机制（生物学） 皮秒 能量（信号处理） 纳米技术 光学 计算机科学 机械工程 工程类 声学 物理 量子力学 操作系统
作者
Yixiong Yan,Yuxuan Cheng,Sijia Chen,Yi‐Fei Deng,Xuening Li,Yu‐Jun Zheng,Cong Mao,Mingjun Zhang,Kai Yin,Shunshun Zhong,Jian Duan
出处
期刊：Optics and Laser Technology [Elsevier BV]
日期：2025-08-22 卷期号：192: 113776-113776
标识
DOI：10.1016/j.optlastec.2025.113776
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