Avoiding water reservoir effects in ALD of functional complex alkali oxides by using O3 as the oxygen source - 科研通

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标题	Avoiding water reservoir effects in ALD of functional complex alkali oxides by using O3 as the oxygen source 以O3为氧源避免功能性复合碱金属氧化物ALD中的贮水效应相关领域沉积（地质）碱金属原子层沉积纳米技术化学工程材料科学氧气化学薄膜矿物学有机化学地质学古生物学沉积物工程类
网址	https://doi.org/10.1039/d1dt03960a
DOI	10.1039/d1dt03960a doi
其它	期刊：Dalton Transactions 作者：Henrik Hovde Sønsteby; Veronica A.-L. K. Killi; Linn M. Rykkje; Justin R. Bickford; Eric G Martin; et al 出版日期：2022-01-01
求助人	六便士在攒在 2025-07-20 21:56:57 发布自安徽，悬赏 10 积分
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