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  Dynamics of ionized poly(4-hydroxystyrene)-type resist polymers with tert-butoxycarbonyl-protecting group 具有叔丁氧几基保护基的离子化聚（4-羟苯乙烯）型抗蚀剂聚合物的动力学
相关领域
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期刊：Scientific Reports 作者：Kazumasa Okamoto; Yusa Muroya; Takahiro Kozawa 出版日期：2024-07-20 |
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