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标题
Electrochemical etching of porous silicon – DFT modeling
多孔硅的电化学刻蚀-DFT建模
相关领域
硅 多孔硅 蚀刻（微加工） 溶解 电化学 材料科学 离子键合 杂质 电解质 各向同性腐蚀 硼 化学工程 化学物理 无机化学 化学 纳米技术 物理化学 离子 电极 有机化学 冶金 工程类 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1016/j.commatsci.2021.110695
DOI
10.1016/j.commatsci.2021.110695 doi
其它 期刊：Computational Materials Science
作者：F. A. Ptashchenko
出版日期：2021-07-07
求助人
竹林听雨zxs 在 2025-08-29 20:54:49 发布，悬赏 10 积分
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