Sputter-deposited PZT on patterned silicon optimization for C-band electro-optic modulation

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标题	Sputter-deposited PZT on patterned silicon optimization for C-band electro-optic modulation 图案化硅上溅射沉积PZT用于C波段电光调制的优化相关领域材料科学矫顽力硅退火（玻璃）光电子学谐振器溅射表面粗糙度铁电性溅射沉积绝缘体（电）波导管绝缘体上的硅电介质复合材料薄膜纳米技术物理凝聚态物理
网址	https://doi.org/10.1364/josab.497538
DOI	10.1364/josab.497538 doi
其它	期刊：Journal of the Optical Society of America B 作者：Suraj Suraj; Shankar Kumar Selvaraja 出版日期：2023-07-26
求助人	Lee102 在 2025-08-27 15:14:44 发布自上海，悬赏 10 积分
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