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 Sputter-deposited PZT on patterned silicon optimization for C-band electro-optic modulation 图案化硅上溅射沉积PZT用于C波段电光调制的优化
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期刊：Journal of the Optical Society of America B 作者：Suraj Suraj; Shankar Kumar Selvaraja 出版日期：2023-07-26 |
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