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 Atomic force microscopy and transmission electron microscopy observations of KOH-etched GaN surfaces KOH腐蚀GaN表面的原子力显微镜和透射电镜观察
相关领域
透射电子显微镜
位错
材料科学
蚀刻（微加工）
原子力显微镜
结晶学
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电子显微镜
腐蚀坑密度
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化学
物理
图层（电子）
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures Processing Measurement and Phenomena 作者：Kenji Shiojima 出版日期：2000-01-01 |
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