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  Ion and Photon Surface Interaction during Remote Plasma ALD of Metal Oxides 金属氧化物远程等离子体原子层沉积过程中的离子和光表面相互作用
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期刊：Journal of The Electrochemical Society 作者：Harald B. Profijt; P. Kudláček; M. C. M. van de Sanden; W. M. M. Kessels 出版日期：2011-01-01 |
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