Ion and Photon Surface Interaction during Remote Plasma ALD of Metal Oxides - 科研通

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标题	Ion and Photon Surface Interaction during Remote Plasma ALD of Metal Oxides 金属氧化物远程等离子体原子层沉积过程中的离子和光表面相互作用相关领域原子层沉积离子等离子体氧化物基质（水族馆）金属光子紫外线化学水溶液中的金属离子沉积（地质）光化学薄膜材料科学原子物理学光电子学纳米技术光学物理沉积物有机化学古生物学地质学海洋学生物量子力学
网址	https://doi.org/10.1149/1.3552663
DOI	10.1149/1.3552663 doi
其它	期刊：Journal of The Electrochemical Society 作者：Harald B. Profijt; P. Kudláček; M. C. M. van de Sanden; W. M. M. Kessels 出版日期：2011-01-01
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