| 标题 |
New system for fast submicron laser direct writing 相关领域
平版印刷术
无光罩微影
薄脆饼
材料科学
光刻
空间光调制器
光电子学
激光器
准分子激光器
光刻胶
光学接近校正
光学
CMOS芯片
计算机科学
吞吐量
图层(电子)
像素
抵抗
纳米技术
电子束光刻
物理
电信
无线
|
| 网址 | |
| DOI |
10.1117/12.209280
doi
|
| 其它 |
期刊:SPIE Proceedings 作者:Heinz Kueck; Michael Bollerott; Wolfgang Doleschal; Andreas Gehner; Wolfram Grundke; et al 出版日期:1995-05-26 |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时,文件已从服务器自动删除,无法下载。 |
|
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)