Chemical mechanical polishing on silicon carbide using developed ceria composite abrasives and their synergistic polishing mechanism

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标题	Chemical mechanical polishing on silicon carbide using developed ceria composite abrasives and their synergistic polishing mechanism
网址	https://www.sciopen.com/local/article_pdf/10.26599/NR.2026.9...
DOI	10.26599/nr.2026.94909100 doi
其它	期刊：Nano Reseach 作者：Juan Liang; Yan Zhang; Zhaokang Li; Peng Lv; Wenhao Qi; et al 出版日期：2026-08-10
求助人	杜faifai 在 2026-08-24 19:41:38 发布自吉林，悬赏 10 积分
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