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标题
Cryogenic etching characteristics of SiO2, SiN, and a-C films with HF/fluorocarbon-containing plasmas
网址
https://doi.org/10.1116/6.0005614
DOI
10.1116/6.0005614 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A
作者：Yusuke Imai; Shih-Nan Hsiao; M. Sekine; Michael K. T. Mo; Nikolay Britun; et al
出版日期：2026-08-26
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踏雪逍遥行 在 2026-09-17 16:58:40 发布自山东，悬赏 10 积分
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