A Survey of the Machining Characteristics and Mechanical Polishing Technology of CVD Diamond Films

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标题	A Survey of the Machining Characteristics and Mechanical Polishing Technology of CVD Diamond Films CVD金刚石膜的加工特性及机械抛光技术综述相关领域抛光化学机械平面化材料科学钻石磨料表面粗糙度机械加工化学气相沉积表面光洁度复合材料冶金纳米技术
网址	https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/amr.69-70.192
DOI	10.4028/www.scientific.net/amr.69-70.192 doi
其它	期刊：Advanced materials research 作者：Li Zhang; Dong Hui Wen; Shi Ming Ji; Qiao Ling Yuan; Zhen Xu 出版日期：2009-05-01
求助人	JXH2000 在 2025-12-09 20:53:13 发布自福建，悬赏 30 积分
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