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标题
专利、报告等 一种实现超陡峭掺杂梯度和超浅结深的分子层掺杂方法
网址
https://d.wanfangdata.com.cn/patent/Ch1QYXRlbnROZXdTb2xyOVMy...
DOI
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其它 专利类型：
发明专利
申请/专利号：
CN201610649282.7
申请日期：
2016-08-10
公开/公告号：
CN106229257A
公开/公告日：
2016-12-14
主分类号：
H01L21/225(2006.01)(专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备)
分类号：
H01L21/225(2006.01)
申请/专利权人：
北京大学
发明/设计人：
黎明陈珙黄如
求助人
奔流的河 在 2025-11-23 10:51:21 发布自河北，悬赏 10 积分
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