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 专利、报告等 一种实现超陡峭掺杂梯度和超浅结深的分子层掺杂方法 |
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| 其它 |
专利类型： 发明专利 申请/专利号： CN201610649282.7 申请日期： 2016-08-10 公开/公告号： CN106229257A 公开/公告日： 2016-12-14 主分类号： H01L21/225(2006.01)(专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备) 分类号： H01L21/225(2006.01) 申请/专利权人： 北京大学 发明/设计人： 黎明陈珙黄如 |
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(2025-6-4)
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