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标题
Polysilicon growth kinetics in a low pressure chemical vapour deposition reactor
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化学气相沉积 吸附 沉积（地质） 氢 化学 动力学 体积流量 增长率 化学工程 分析化学（期刊） 热力学 物理化学 色谱法 有机化学 物理 古生物学 工程类 几何学 生物 量子力学 数学 沉积物
网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/0040609079...
DOI
10.1016/0040-6090(79)90296-7 doi
其它 期刊：Thin Solid Films
作者：M.L. Hitchman; J. Kane; A.E. Widmer
出版日期：2002-10-19
求助人
可靠的纸鹤 在 2026-09-30 10:21:17 发布自四川，悬赏 10 积分
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