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Non-planar growth of high Al-mole-fraction AlGaN on patterned GaN platforms for mitigating strain-induced cracks beyond the critical layer thickness 高铝摩尔分数AlGaN在图案化GaN平台上的非平面生长用于减轻超过临界层厚度的应变诱导裂纹
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期刊:Journal of Crystal Growth 作者:Yuto Ando; Frank Mehnke; Henri Bouchard; Zhiyu Xu; Alec M. Fischer; et al 出版日期:2023-01-23 |
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