Comparison of the sputter rates of oxide films relative to the sputter rate of SiO2

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标题	Comparison of the sputter rates of oxide films relative to the sputter rate of SiO2
网址	https://pubs.aip.org/avs/jva/article-pdf/28/5/1060/14637489/...
DOI	10.1116/1.3456123 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science and Technology 作者：D. Baer; M. Engelhard; A. S. Lea; P. Nachimuthu; T. Droubay; et al 出版日期：2010-09-02
求助人	奋斗梦旋在 2026-07-29 14:09:56 发布自广东，悬赏 10 积分
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