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标题
Strategies for Reducing Particle Defects in Ti and TiN Thin-Film Deposition Processes
网址
http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/66/8626062/08493287.pdf?...
DOI
10.1109/tsm.2018.2876463 doi
其它 期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
作者：Aditya Kumar; Nirjhar Bhattacharjee; Bhavyen Patel; Jean-Baptiste Laloe; Olugbenga O. Famodu; et al
出版日期：2018-10-17
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老迟到的夜南 在 2026-08-20 15:17:33 发布自江苏，悬赏 10 积分
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