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Technology and Thermomechanics in Growing Tubular Silicon Single Crystals
网址
http://dx.doi.org/10.1134/s1063739722080157
DOI
10.1134/s1063739722080157 doi
其它 期刊：Russian Microelectronics
作者：N. A. Verezub; L. V. Kozhitov; T. T. Kondratenko; A. I. Prostomolotov; I. V. Silaev
出版日期：2022-12-01
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