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标题
Nanofabrication in extended areas on the basis of nanopositioning and nanomeasuring machines
网址
https://doi.org/10.1117/12.2514009
DOI
10.1117/12.2514009 doi
其它 期刊：Novel Patterning Technologies for Semiconductors, MEMS/NEMS, and MOEMS 2019
作者：Eberhard Manske; Eric M. Panning; Martha I. Sanchez
出版日期：2019
求助人
Morning_King 在 2026-04-22 14:48:20 发布自吉林，悬赏 20 积分
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  • 1个月前

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