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标题
Polishing pad surface characterisation in chemical mechanical planarisation
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DOI
10.1016/j.jmatprotec.2004.04.094 doi
其它 期刊:Journal of Materials Processing Technology
作者:John McGrath; Chris Davis
出版日期:2004-06-22
求助人
舒适千儿 在 2026-06-01 00:48:08 发布自陕西,悬赏 10 积分
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