INTRODUCTION TO SILICON CARBIDE (SIC) MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS)

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标题	书籍（章节） INTRODUCTION TO SILICON CARBIDE (SIC) MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS)
网址	https://doi.org/10.1142/9781860949098_0001
DOI	10.1142/9781860949098_0001 doi
其它	期刊：Silicon Carbide Microelectromechanical Systems for Harsh Environments 作者：Rebecca Cheung 出版日期：2010-02-19
求助人	虚心梦秋在 2026-09-28 15:04:47 发布自北京，悬赏 30 积分
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