发布文献求助
已关闭
  • 文献求助详情
标题
Nanoimprint system development and status for high volume semiconductor manufacturing
用于大批量半导体制造的纳米压印系统的发展和现状
相关领域
抵抗 德拉姆 平版印刷术 覆盖 纳米压印光刻 半导体器件制造 材料科学 计算机科学 薄脆饼 闪光灯（摄影） 光刻 多重图案 浸没式光刻 纳米技术 基质（水族馆） 光电子学 制作 光学 医学 替代医学 物理 图层（电子） 病理 程序设计语言 海洋学 地质学
网址
https://doi.org/10.1117/12.2087017
DOI
10.1117/12.2087017 doi
其它 期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者：Hiroaki Takeishi; S. V. Sreenivasan
出版日期：2015-03-19
求助人
火火 在 2025-08-19 10:12:03 发布自印度，悬赏 20 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Lithography Options for the 32 nm Half Pitch Node and Beyond
  2. Extending 1.35 NA immersion lithography down to 1x nm production nodes
  3. Double patterning combined with shrink technique to extend ArF lithography for contact holes to 22nm...
  4. Comparison of EUV patterning performance between PTD and NTD for 1Xnm DRAM
  5. Enabling immersion lithography and double patterning
  6. Immersion lithography and double patterning in advanced microelectronics
  7. DFM Challenges for 32nm Node with Double Dipole Lithography (DDL) and Double Patterning Technology (...
  8. Advanced resist process enabling implementation of CD controllability for 32 nm and beyond
  9. Qualification of immersion double patterning
  10. SADP etch process development using PR core for sub 17nm DRAM
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 1小时前，求助关闭

    火火 火火 Lv01 求助人 关闭了本次求助。

    说明 找到相关文献【积分已退回】

  • 1小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    10:12:07 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    10:12:03 科研通AI机器人（中国 香港）收到请求，开始寻找文献
    10:12:03 已向机器人发送请求

  • 1小时前

    火火 火火 Lv01 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
大模型的应助被嘚嘚嘚采纳，获得10
1秒前
1秒前
帅气的伯云完成签到，获得积分20
2秒前
李健的应助被外向灰狼采纳，获得10
3秒前
长情霸完成签到，获得积分10
3秒前
上的工人进场完成签到，获得积分10
4秒前
博ge完成签到 ，获得积分10
4秒前
英俊的铭的应助被Mark采纳，获得10
5秒前
野性的曼香完成签到，获得积分10
5秒前
6秒前
11发布了新的文献求助10
7秒前
高兴新梅发布了新的文献求助10
7秒前
7秒前
科研通AI6的应助被Bi8bo采纳，获得10
9秒前
奋斗灵凡发布了新的文献求助30
10秒前
新年快乐发布了新的文献求助10
10秒前
海比天蓝发布了新的文献求助10
11秒前
从容的蓉发布了新的文献求助10
11秒前
哎哟很烦完成签到，获得积分10
11秒前
飞翔的葡萄籽完成签到 ，获得积分10
12秒前
12秒前
13秒前
13秒前
搬砖小土妞完成签到，获得积分10
15秒前
15秒前
15秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
17秒前
愤怒的小鸽子完成签到，获得积分10
17秒前
17秒前
领导范儿的应助被李西西采纳，获得10
17秒前
んな发布了新的文献求助10
19秒前
雷雪发布了新的文献求助10
19秒前
充电宝的应助被公西半雪采纳，获得10
19秒前
唠叨的柠檬完成签到，获得积分10
20秒前
20秒前
阿盛完成签到，获得积分10
20秒前
Mark发布了新的文献求助10
21秒前
21秒前
大个的应助被kyycr采纳，获得10
22秒前
23秒前
高分求助中
(禁止应助)【重要！！请各位详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Plutonium Handbook 4000
International Code of Nomenclature for algae, fungi, and plants (Madrid Code) (Regnum Vegetabile) 1500
Building Quantum Computers 1000
Molecular Cloning: A Laboratory Manual (Fourth Edition) 500
Social Epistemology: The Niches for Knowledge and Ignorance 500
优秀运动员运动寿命的人文社会学因素研究 500
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 4231006
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 3764576
关于积分的说明 11829061
捐赠科研通 3423640
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1878743
邀请新用户注册赠送积分活动 931777
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 839340
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通