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标题
Virtual metrology for run-to-run control in semiconductor manufacturing
半导体制造中运行到运行控制的虚拟计量
相关领域
计量学 半导体器件制造 计算机科学 过程（计算） 过程控制 控制（管理） 生产力 生产控制 尺寸计量学 半导体工业 生产（经济） 分数（化学） 制造工程 测量不确定度 先进过程控制 控制工程 可靠性工程 控制系统 制造工艺 制造业
网址
https://doi.org/10.1016/j.eswa.2010.08.040
AI链接 handle.netdoi.org
DOI
10.1016/j.eswa.2010.08.040 doi
其它 期刊：Expert Systems With Applications
作者：Pilsung Kang; Dongil Kim; Hyoungjoo Lee; Seungyong Doh; Sungzoon Cho
出版日期：2010-09-13
求助人
ymr 在 2025-11-06 03:14:29 发布自上海，悬赏 10 积分
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