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Effect of La doping on dielectric constant and tetragonality of ZrO2 thin films deposited by atomic layer deposition
La掺杂对原子层沉积ZrO2薄膜介电常数和四方性的影响
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网址
https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2022.166961
DOI
10.1016/j.jallcom.2022.166961 doi
其它 期刊：Journal of Alloys and Compounds
作者：Jae Yeon Jeong; Yoogeun Han; Hyunchul Sohn
出版日期：2022-12-01
求助人
sakthi 在 2025-08-20 15:34:43 发布自美国，悬赏 10 积分
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