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 Effect of La doping on dielectric constant and tetragonality of ZrO2 thin films deposited by atomic layer deposition La掺杂对原子层沉积ZrO2薄膜介电常数和四方性的影响
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期刊：Journal of Alloys and Compounds 作者：Jae Yeon Jeong; Yoogeun Han; Hyunchul Sohn 出版日期：2022-12-01 |
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