Thermal annealing of AlN films for piezoelectric applications

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标题	Thermal annealing of AlN films for piezoelectric applications 压电AlN薄膜的热退火相关领域材料科学压电氮化物结晶度退火（玻璃）溅射铝电极氮化铝光电子学复合材料硅基质（水族馆）薄膜纳米技术物理化学地质学化学图层（电子）海洋学
网址	https://doi.org/10.1007/s10854-020-02984-w
DOI	10.1007/s10854-020-02984-w doi
其它	期刊：Journal of Materials Science Materials in Electronics 作者：Étienne Herth; Dame Fall; Jean‐Yves Rauch; Virginie Mourtalier; Grégory Guisbiers 出版日期：2020-02-14
求助人	小倩在 2026-01-02 15:51:38 发布自天津，悬赏 10 积分
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