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标题
Theoretical study of the gas-phase reaction of hexachlorodisilane by thermodynamic analysis and kinetics calculation
相关领域
化学 动力学 气相 分压 热力学 热力学平衡 氮化硅 相（物质） 硅 氮化物 物理化学 分析化学（期刊） 有机化学 图层（电子） 氧气 量子力学 物理
网址
https://doi.org/10.35848/1347-4065/ad0fa0
DOI
10.35848/1347-4065/ad0fa0 doi
其它 期刊：Japanese Journal of Applied Physics
作者：Tomoya Nagahashi; Hajime Karasawa; Ryota Horiike; Kenji Shiraishi
出版日期：2023-11-24
求助人
John 在 2026-01-06 21:50:49 发布自内蒙古，悬赏 10 积分
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