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 Effect of structural relaxation at bellow crystallization temperature on internal stress of Ni–Nb–Zr thin film amorphous alloys diaphragm for micro electromechanical systems sensors 相关领域
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Fuyuki Haga; Takahiro Yamazaki; Chiemi Oka; Seiichi Hata; Yuto Hoshino; et al 出版日期：2022-03-11 |
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