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  Application of Adaptive PID Temperature Control Algorithm under Spatial Thermal Model of ALD Reaction Chamber ALD反应室空间热模型下自适应PID温度控制算法的应用
相关领域
PID控制器
温度控制
控制理论（社会学）
材料科学
过程（计算）
热的
算法
机械工程
计算机科学
热力学
工程类
物理
控制（管理）
操作系统
人工智能
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期刊：Journal of Sensors 作者：Zhenqiang Liu; Jinhui Lei; Yan Chen; Yang Xia; Jiaheng Feng; et al 出版日期：2022-04-11 |
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