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 Mechanical and thermal properties and NF 3 /Ar and Cl 2 /Ar plasma irradiation behavior of high purity Y–Al–O based ceramics 相关领域
材料科学
陶瓷
蚀刻（微加工）
辐照
抗弯强度
等离子体
复合材料
等离子体刻蚀
弯曲
同种类的
各向同性腐蚀
热的
半导体
机械强度
分析化学（期刊）
维氏硬度试验
粒子（生态学）
粒度
抗辐射性
矿物学
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