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Three-Dimensional Nanopatterning Using Extreme Ultraviolet Colloidal Talbot Lithography
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网址
DOI
10.1021/acs.nanolett.6c01662 doi
其它 期刊:Nano Letters
作者:Saurav Mohanty; Ethan Flores; Daniel Hur; Richard Mitchell; Chih-Hao Chang
出版日期:2026-04-30
求助人
grande 在 2026-06-12 14:34:45 发布自北京,悬赏 10 积分
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