The effect of pH regulator on the surface quality of 4H-SiC wafers using ultraviolet-assisted chemical mechanical polishing

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标题	The effect of pH regulator on the surface quality of 4H-SiC wafers using ultraviolet-assisted chemical mechanical polishing
网址	https://doi.org/10.1016/j.mssp.2026.110932
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
求助人	咸鱼中下游在 2026-08-19 20:16:40 发布自吉林，悬赏 20 积分
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