Effects of Annealing Temperature on Crystal Structure and Microstructure of PZT Thin Films (52/48) Prepared by RF Magnetron Sputtering

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标题	Effects of Annealing Temperature on Crystal Structure and Microstructure of PZT Thin Films (52/48) Prepared by RF Magnetron Sputtering 相关领域材料科学薄膜退火（玻璃）微观结构溅射沉积粒度结晶电介质铁电性复合材料陶瓷分析化学（期刊）溅射化学工程光电子学纳米技术化学工程类色谱法
网址	https://doi.org/10.1080/10584587.2021.1964296
DOI	10.1080/10584587.2021.1964296 doi
其它	期刊：Integrated ferroelectrics 作者：Pakinee Thongrit; Mati Horprathum; Kamonpan Pengpat; Patamas Bintachitt 出版日期：2021-12-30
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