Effects of polishing parameters on surface quality in sapphire double-sided CMP

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标题	Effects of polishing parameters on surface quality in sapphire double-sided CMP 相关领域抛光材料科学薄脆饼蓝宝石研磨表面粗糙度化学机械平面化表面光洁度复合材料转速光学光电子学机械工程物理激光器工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2020.02.116
DOI	10.1016/j.ceramint.2020.02.116 doi
其它	期刊：Ceramics International 作者：Zhongyang Li; Zhaohui Deng; Yangxuan Hu 出版日期：2020-02-14
求助人	秋刀鱼在 2026-03-12 11:30:26 发布自天津，悬赏 10 积分
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