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标题
Blue-X: exploring advanced optical projection lithography below 13.5 nm
网址
https://doi.org/10.1117/12.3092615
DOI
10.1117/12.3092615 doi
其它 期刊：Optical and EUV Nanolithography XXXIX
作者：Vivek Bakshi; Claire van Lare; Iacopo Mochi
出版日期：2026
求助人
火火 在 2026-05-10 12:55:13 发布自江西，悬赏 20 积分
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  • 2个月前

    火火 火火 Lv19 求助人 发起了本次求助

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