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标题
Two-dimensional fluid simulations of sawtooth waveform pulsed inductively coupled Ar/O2 plasma discharges
锯齿波脉冲感应耦合Ar/O2等离子体放电的二维流体模拟
相关领域
锯齿波 感应耦合等离子体 波形 等离子体 材料科学 原子物理学 物理 计算机科学 核物理学 电信 量子力学 电压
网址
DOI
10.1088/1361-6463/adce15 doi
其它 期刊:Journal of Physics D Applied Physics
作者:Ming-Liang Zhao; Chang Lu; De‐Qi Wen; Yu‐Ru Zhang; Fei Gao; et al
出版日期:2025-04-17
求助人
byyyy 在 2025-07-11 15:09:13 发布自辽宁,悬赏 10 积分
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