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标题
정전용량 차동 구조를 이용한 MEMS 6축 힘-토크 센서 설계 및 시뮬레이션
网址
https://ieeexplore.ieee.org/document/7784722
DOI
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求助人
傻傻的寄翠 在 2025-07-08 15:30:50 发布自山西，悬赏 10 积分
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