Hydrogen annealing treatment used to obtain high quality SOI surfaces

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标题	Hydrogen annealing treatment used to obtain high quality SOI surfaces
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx4/5870/15630/00723099.pdf?...
DOI	10.1109/soi.1998.723099 doi
其它	期刊：1998 IEEE International SOI Conference Proceedings (Cat No.98CH36199) 作者：H. Moriceau; A.M. Cartier; B. Aspar 出版日期：2002-11-28
求助人	CP 在 2026-10-23 14:16:35 发布自上海，悬赏 10 积分
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