Thermodynamic and experimental study of β -Ga 2 O 3 growth by oxide vapor-phase epitaxy using Ga 2 O and H 2 O as precursors

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标题	Thermodynamic and experimental study of β -Ga 2 O 3 growth by oxide vapor-phase epitaxy using Ga 2 O and H 2 O as precursors
网址	http://dx.doi.org/10.35848/1347-4065/ae54ed
DOI	10.35848/1347-4065/ae54ed doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Rie Togashi; Masayuki Imanishi; Shigeyoshi Usami; Masahiko Hata; Yusuke Mori 出版日期：2026-04-17
求助人	xjz240221 在 2026-10-20 15:34:34 发布自广东，悬赏 10 积分
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