Atomic layer deposition of ZnO: a review - 科研通

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标题	Atomic layer deposition of ZnO: a review
网址	https://doi.org/10.1088/0268-1242/29/4/043001
DOI	10.1088/0268-1242/29/4/043001 doi
其它	期刊：Semiconductor Science and Technology 作者：Tommi Tynell; Maarit Karppinen 出版日期：2014
求助人	zdjzdj 在 2026-05-22 12:31:02 发布自江西，悬赏 10 积分
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