Three-Dimensional Topography of High-Aspect Ratio Trenches by Sample-Induced Aberration-Compensable Coherence Scanning Interferometry

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标题	Three-Dimensional Topography of High-Aspect Ratio Trenches by Sample-Induced Aberration-Compensable Coherence Scanning Interferometry 相关领域光学纵横比（航空）干涉测量连贯性（哲学赌博策略）白光干涉法波前沟槽材料科学计量学物理光电子学纳米技术量子力学图层（电子）
网址	https://pubs.acs.org/doi/pdf/10.1021/acsphotonics.3c01466
DOI	10.1021/acsphotonics.3c01466 doi
其它	期刊：ACS Photonics 作者：Jianqiu Ma; Qun Yuan; Zhishan Gao; Xiao Huo; Zhiyi Xu; et al 出版日期：2024-02-21
求助人	isen 在 2026-05-28 10:49:40 发布自荷兰，悬赏 10 积分
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