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标题
Ferroelectricity of HfxZr1−xO2 thin films fabricated by 300 °C low temperature process with plasma-enhanced atomic layer deposition
网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S016793171...
DOI
10.1016/j.mee.2019.111013 doi
其它 期刊：Microelectronic Engineering
作者：Takashi Onaya; Toshihide Nabatame; Naomi Sawamoto; Akihiko Ohi; Naoki Ikeda; et al
出版日期：2019-05-29
求助人
挽手说梦话 在 2026-03-21 14:05:08 发布自北京，悬赏 10 积分
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