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Development of Reflective Optical Systems for XUV Projection Lithography*
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网址
http://dx.doi.org/10.1364/sxray.1991.fb2
AI链接 unt.edu osti.gov osti.govdoi.org
DOI
10.1364/sxray.1991.fb2 doi
其它 期刊：Soft-X-Ray Projection Lithography
作者：V. K. Viswanathan; Brian E. Newnam
出版日期：1991-01-01
求助人
火火 在 2026-07-23 10:01:58 发布自江西，悬赏 10 积分
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