Self‐propagating room‐temperature silicon wafer bonding in ultrahigh vacuum

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标题	Self‐propagating room‐temperature silicon wafer bonding in ultrahigh vacuum
网址	https://pubs.aip.org/aip/apl/article-pdf/67/24/3614/18515683...
DOI	10.1063/1.115335 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：U. Gösele; H. Stenzel; T. Martini; J. Steinkirchner; D. Conrad; et al 出版日期：1995-12-11
求助人	可乐不珍珍在 2026-08-18 19:41:09 发布自安徽，悬赏 10 积分
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