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[高分] Etch Characteristics of SiO2 Using Pulsed Triple-Frequency for Ar/C4F6/O2 Capacitive Coupled Plasmas
网址
https://doi.org/10.1166/jnn.2016.13603
DOI
10.1166/jnn.2016.13603 doi
其它 期刊：Journal of Nanoscience and Nanotechnology
作者：M. H Jeon; J. W Park; T. H Kim; D. H Yun; K. N Kim; G. Y Yeom
出版日期：2016
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程大海 在 2026-01-27 20:55:30 发布自安徽，悬赏 150 积分
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