Fast and high-fidelity curvilinear optical proximity correction using boundary iterative optimization

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标题	Fast and high-fidelity curvilinear optical proximity correction using boundary iterative optimization
网址	https://doi.org/10.1364/ao.578546
DOI	10.1364/ao.578546 doi
其它	期刊：Applied Optics 作者：Weichen Huang; Yanqiu Li; Yang He 出版日期：2025-12-03
求助人	健忘的从灵在 2026-01-07 15:05:03 发布自广东，悬赏 10 积分
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