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  Enhancing Charge Trapping Performance of Hafnia Thin Films Using Sequential Plasma Atomic Layer Deposition 相关领域
哈夫尼亚
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期刊：Nanomaterials 作者：So Won Kim; Jae-Hoon Yoo; W.J. Park; Chanhee Lee; Joung‐Ho Lee; et al 出版日期：2024-10-21 |
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