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 Effect of microwave electric field displacement on diamond deposition in microwave plasma chemical vapour deposition: a three-dimensional simulation study 微波等离子体化学气相沉积中微波电场位移对金刚石沉积影响的三维模拟研究
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期刊：Journal of Crystal Growth 作者：Zhijian Guo; Zhiliang Yang; Yuchen Liu; Kang An; Liangxian Chen; et al 出版日期：2025-07-19 |
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