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 Rapid fabrication of semiellipsoid microlens using thermal reflow with two different photoresists 使用两种不同的光致抗蚀剂热回流快速制造半椭圆形微透镜
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期刊：Microelectronic Engineering 作者：Zhen-Jie Lian; Shih-Yu Hung; Ming-Ho Shen; Hsiharng Yang 出版日期：2013-11-08 |
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