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标题
Microsystems for diverse applications using recently developed microfabrication techniques
相关领域
微系统 微加工 航空航天 汽车工业 纳米光刻 计算机科学 过程（计算） 纳米技术 系统工程 工程类 材料科学 航空航天工程 制作 医学 替代医学 病理 操作系统
网址
https://doi.org/10.1117/12.395608
DOI
10.1117/12.395608 doi
其它 期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者：L. Dellmann; Terunobu Akiyama; D. Briand; S. Gautsch; Olivier T. Guenat; et al
出版日期：2000-08-11
求助人
微笑的安容 在 2025-10-13 16:23:25 发布自辽宁，悬赏 20 积分
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