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 Deep silicon etching for thermopile structures using a modified Bosch process 用改进的Bosch工艺对热电堆结构进行深度硅刻蚀
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期刊：Journal of Micro-nanolithography Mems and Moems 作者：Na Zhou; Junjie Li; Henry H. Radamson; Li Lin; Qifeng Jiang; et al 出版日期：2019-05-10 |
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